近日，精密流體測控品牌GRYLLS正式推出7000系列新品，涵蓋7000P壓力控制器/流量計(jì)、7000G氣體質(zhì)量流量控制器/流量計(jì)、7000L液體質(zhì)量流量控制器/流量計(jì)三大產(chǎn)品線，專為半導(dǎo)體行業(yè)量身打造。

新品聚焦半導(dǎo)體薄膜沉積、刻蝕等關(guān)鍵工藝需求，具備EP/雙V高潔凈度、極速響應(yīng)（＜30ms）、超高精度與重復(fù)性，適配高純度特氣輸送、腔體壓力控制等核心場景，支持多規(guī)格定制與工業(yè)系統(tǒng)無縫集成，助力芯片制造良率提升，進(jìn)一步完善GRYLLS流體測控產(chǎn)品矩陣，持續(xù)賦能半導(dǎo)體智造升級。

GRYLLS-7000G 系列氣體質(zhì)量流量控制器 / 流量計(jì)

核心能力：原生半導(dǎo)體級設(shè)計(jì)，流量范圍覆蓋 0.5SCCM 至 1000SLPM，量程比可達(dá) 10000:1，支持多氣體 / 多量程定制。

性能亮點(diǎn)： < 50ms 響應(yīng)速度，重復(fù)性高達(dá) ±0.02% F.S.，精度達(dá) ±0.05% F.S.；可選 EP / 雙 V 潔凈度，特殊氣體適配 HC 和鎳鉻合金材質(zhì)，全金屬密封可選，適配半導(dǎo)體特氣輸送場景。

應(yīng)用場景：精準(zhǔn)服務(wù)于半導(dǎo)體制造中的刻蝕、薄膜沉積、離子注入等工藝，保障特氣流量穩(wěn)定可控，提升芯片良率。

 GRYLLS-7000L 系列液體質(zhì)量流量控制器 / 流量計(jì)

核心能力：采用科里奧利技術(shù)原理，不依賴流體物理特性，可實(shí)現(xiàn)液體與高壓氣體兼容的高精度小流量測量，標(biāo)稱流量范圍 1g/h 至 1000kg/h。

性能亮點(diǎn)：響應(yīng)速度 < 100ms，重復(fù)性達(dá) ±0.05% RD，精度可達(dá) ±0.2%~0.5% RD；接液選用 316L 耐腐蝕材料，支持環(huán)境測量，適配超微小流量控制需求。

應(yīng)用場景：覆蓋半導(dǎo)體濕法清洗、光刻膠配比、生物制藥精密配液等場景，為高精度液體計(jì)量提供可靠保障。

 GRYLLS-7000P 系列壓力控制器 / 流量計(jì)

核心能力：基于壓力式傳感器技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)控上游壓力、控下游壓力、控制恒定壓力三種模式，帶流量監(jiān)測選項(xiàng)可精準(zhǔn)監(jiān)測 1SCCM 至 50SLPM 流量值。

性能亮點(diǎn)：30ms 極速響應(yīng)，壓力控制精度達(dá) ±0.125% F.S.，可選金屬密封與 EP / 雙 V 潔凈度，接液部分支持 316L VimVar 材料，耐腐蝕，適配高純度工藝場景。

應(yīng)用場景：廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體腔體壓力控制、密閉腔體 / 容器壓力穩(wěn)定調(diào)節(jié)等場景，滿足潔凈與高精度壓力控制需求。